適用于高溫的質(zhì)量流量控制器 SEC-2000 系列

日本HORIBA高溫應(yīng)用的質(zhì)量流量控制器

概要

可以在高溫環(huán)境中使用的SEC-8000/2000系列，適用于超潔凈的氣體供給，以及在分析ppt級別下的超微量氣體的場合，在半導(dǎo)體、化合物半導(dǎo)體制程之外也有各種各樣的用途。

特征

· 搭載熱感閥

· 作為*的TEOS氣化供給系統(tǒng)LSC系列中標(biāo)準(zhǔn)的搭載模塊

產(chǎn)品相關(guān)圖及其它

適用于高溫的質(zhì)量流量控制器 SEC-2000 系列

日本HORIBA高溫應(yīng)用的質(zhì)量流量控制器

概要

可以在高溫環(huán)境中使用的SEC-8000/2000系列，適用于超潔凈的氣體供給，以及在分析ppt級別下的超微量氣體的場合，在半導(dǎo)體、化合物半導(dǎo)體制程之外也有各種各樣的用途。

特征

· 搭載熱感閥

· 作為*的TEOS氣化供給系統(tǒng)LSC系列中標(biāo)準(zhǔn)的搭載模塊

產(chǎn)品相關(guān)圖及其它

適用于高溫的質(zhì)量流量控制器 SEC-2000 系列

概要

可以在高溫環(huán)境中使用的SEC-8000/2000系列，適用于超潔凈的氣體供給，以及在分析ppt級別下的超微量氣體的場合，在半導(dǎo)體、化合物半導(dǎo)體制程之外也有各種各樣的用途。

特征

· 搭載熱感閥

· 作為*的TEOS氣化供給系統(tǒng)LSC系列中標(biāo)準(zhǔn)的搭載模塊

適用于高溫的質(zhì)量流量控制器 SEC-2000 系列

概要

可以在高溫環(huán)境中使用的SEC-8000/2000系列，適用于超潔凈的氣體供給，以及在分析ppt級別下的超微量氣體的場合，在半導(dǎo)體、化合物半導(dǎo)體制程之外也有各種各樣的用途。

特征

· 搭載熱感閥

· 作為*的TEOS氣化供給系統(tǒng)LSC系列中標(biāo)準(zhǔn)的搭載模塊